В ННГУ разработали перспективный метод синтеза кремнезема для микроэлектроники
Как сообщили в ННГУ, сотрудники университетского НИИ химии разработали новый метод прямого синтеза диоксида кремния. Над темой они работали в партнерстве с учеными Института металлорганической химии РАН им. Г.А. Разуваева и Российского химико-технологического университета им. Д.И. Менделеева. Разработка позволяет создавать высокоэффективные катализаторы для синтеза ключевого компонента современной микроэлектроники – моносилана. Пористые сорбенты на основе диоксида кремния российские химики впервые получили с помощью индукционной потоковой левитации.
Новый метод синтеза позволит изготавливать высокочистые и дорогостоящие компоненты современной микроэлектроники, сообщил один из авторов проекта, заведующий лабораторией инженерной химии НИИ Андрей Воротынцев. При этом производительность значительно повышается по сравнению с ранее известными методами – в непрерывном бесконтактном режиме можно получать до 100 г диоксида кремния (кремнезема) в час.
Разработка проводилась при финансовой поддержке Минобрнауки РФ в рамках научного проекта «Лаборатория ионных материалов», а также университетской программы академического лидерства «Приоритет 2030».